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Nasschemische Synthese und Charakterisierung von elektronisch leitfähigen, oxidischen Dünnschichten für die Mikroelektronik (1999)

Hasenkox, Ulrich [Verfasser]

Düsseldorf : VDI-Verl.

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Details

UID:

b3kat_BV012846627

Umfang: XI, 201 S. , Ill., graph. Darst.

Ausgabe: Als Ms. gedr.

ISBN: 3183306093

Serie: Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 306

Anmerkung: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999

Sprache: Deutsch

Fachgebiete: Physik

RVK:

UP 7550

Schlagwort(e): Oxidkeramik ; Perowskitstruktur ; Lösungskristallisation ; Prozessführung ; Dünne Schicht ; Elektrische Eigenschaft ; Lanthanoxid ; Manganoxide ; Mischoxide ; Oxidkeramik ; Werkstoff ; Mikroelektronik ; Hochschulschrift ; Hochschulschrift

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