Umfang:
XI, 127 S.
,
Ill., graph. Darst.
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183492024
Serie:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2] 492
Anmerkung:
Dissertation Universität Hannover 1998
Sprache:
Deutsch
Fachgebiete:
Physik
Schlagwort(e):
Optisches Glas
;
Maskentechnik
;
Laserlithografie
;
Excimerlaser
;
Hochschulschrift
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Hochschulschrift
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