Format:
VIII, 171 S
,
Ill., graph. Darst
,
21 cm
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183511037
Series Statement:
Fortschritt-Berichte VDI 511
Note:
Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1997
Language:
German
Keywords:
Gassensor
;
Halbleitersensor
;
Selektivität
;
Siliciumorganische Verbindungen
;
Plasmapolymerisation
;
Kompositmembran
;
Gassensor
;
Technische Membran
;
Plasmapolymerisation
;
Hochschulschrift
Author information:
Keil, Frerich 1947-
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