Umfang:
XV, 287 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
24 cm
ISBN:
9783642221729
,
3642221726
Serie:
Lecture notes in control and information sciences 413
Anmerkung:
Literaturangaben
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Online-Ausgabe Control Technologies for Emerging Micro and Nanoscale Systems
Sprache:
Englisch
Fachgebiete:
Mathematik
Schlagwort(e):
Nanotechnologie
;
MEMS
;
Rasterkraftmikroskopie
;
Konferenzschrift
Bookmarklink