Format:
XX, 142 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
3826574133
Series Statement:
Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik 5
Note:
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2000
Language:
German
Keywords:
Mikromechanik
;
Siliciumbauelement
;
Trockenätzen
;
Fotolithografie
;
Prozessoptimierung
;
Mikromechanik
;
Siliciumbauelement
;
Plasmaätzen
;
Fotolithografie
;
Prozessoptimierung
;
Hochschulschrift
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