Format:
101 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
21 cm
ISBN:
3832213473
Series Statement:
Berichte aus der Halbleitertechnik
Note:
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003
Language:
German
Keywords:
MOS-FET
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Fotolithografie
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Nanotechnologie
;
Ultraviolett
;
Photoresist
;
Prägen
;
Hochschulschrift
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