Format:
Online-Ressource
Note:
Enthält nur Präsentationsfolien, keine ausgearb. Vorträge
Additional Edition:
ISBN 9781457716478
Additional Edition:
Druckausg. 2011e-Manufacturing & Design Collaboration Symposium & International Symposium on Semiconductor Manufacturing (eMDC & ISSM 2011) Piscataway, NJ : IEEE, 2011 ISBN 9781457716478
Language:
English
Keywords:
Konferenzschrift
URL:
Volltext
(lizenzpflichtig)
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