Format:
9
ISSN:
0960-1317
In:
Journal of micromechanics and microengineering, Bristol : IOP Publ., 1991, 25(2015), 12, Seite 125011, 0960-1317
In:
volume:25
In:
year:2015
In:
number:12
In:
pages:125011
In:
extent:9
Language:
English
Author information:
Hoffmann, Martin 1966-
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