Online Resource
Dordrecht [u.a.] : Springer
Format:
1 Online-Ressource (XIX, 423 S.)
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
9781441900760
Additional Edition:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe, Hardcover ISBN 978-1-441-90075-3
Language:
English
Subjects:
Engineering
Keywords:
Integrierte Schaltung
;
Kontaktieren
;
Kupfer
;
Fotolithografie
;
Ätzen
DOI:
10.1007/978-1-4419-0076-0
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