UID:
almafu_9960112711902883
Umfang:
1 online resource (248 p.) :
,
Mit 80 Abbildungen und 17 Tabellen
Ausgabe:
Reprint 2021
ISBN:
9783112484623
Anmerkung:
Frontmatter --
,
Inhaltsverzeichnis --
,
Vorwort des Autors für die deutsche Ausgabe --
,
Vorwort des Herausgebers der deutschen Ausgabe --
,
Vorwort --
,
1. SiO2--Schichten auf Silicium --
,
2. Siliciumnitridschichten --
,
3. Schichten aus polykristallinem Silicium --
,
4. Methoden zur Struktur Untersuchung von Schaltkreismaterialien --
,
Zusammenfassung --
,
Abkürzungsverzeichnis --
,
Literaturverzeichnis --
,
Sachverzeichnis
,
In German.
Weitere Ausg.:
ISBN 9783112484616
Sprache:
Deutsch
DOI:
10.1515/9783112484623
URL:
https://doi.org/10.1515/9783112484623
URL:
https://www.degruyter.com/isbn/9783112484623
URL:
https://doi.org/10.1515/9783112484623
URL:
https://www.degruyter.com/isbn/9783112484623
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