Umfang:
XVI, 574 Seiten
,
Illustrationen, Diagramme
,
24 cm
Ausgabe:
Dritte, vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage
ISBN:
352730536X
,
9783527305360
Inhalt:
Die dritte Auflage dieses überaus erfolgreichen Lehrbuchs - mittlerweile das Standardwerk zum Thema - wurde vor allem auf dem Gebiet der Silizium-Technologie stark erweitert und insgesamt den Fortschritten in diesem sich rasant entwickelnden, interdisziplinären Gebiet angepasst
Anmerkung:
Literaturverzeichnis: Seiten 545-564
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Online-Ausgabe Menz, W. Mikrosystemtechnik für Ingenieure Hoboken : John Wiley & Sons, 2012 ISBN 9783527663477
Weitere Ausg.:
ISBN 3527663479
Weitere Ausg.:
ISBN 9781280663260
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Online-Ausgabe Menz, Wolfgang, 1938 - Mikrosystemtechnik für Ingenieure Weinheim : Wiley-VCH, 2005 ISBN 9783527663477
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Online-Ausgabe Menz, Wolfgang, 1938 - Mikrosystemtechnik für Ingenieure Weinheim : Wiley-VCH, 2005 ISBN 9783527663477
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Online-Ausgabe Menz, Wolfgang, 1938 - Mikrosystemtechnik für Ingenieure Weinheim : Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2005 ISBN 9783527663477
Weitere Ausg.:
ISBN 9783527663460
Weitere Ausg.:
ISBN 9783527663453
Sprache:
Deutsch
Fachgebiete:
Technik
,
Physik
Schlagwort(e):
Mikrosystemtechnik
;
Mikrosystemtechnik
;
Lehrbuch
Mehr zum Autor:
Menz, Wolfgang 1938-
Mehr zum Autor:
Paul, Oliver
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