UID:
kobvindex_ERBEBC5811309
Format:
1 online resource (161 pages)
Edition:
1
ISBN:
9783736960299
Series Statement:
Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik ; v.53
Note:
Intro -- Kapitel 1. Grundlagen -- Kapitel 2. Stand der Forschung und Epitaxie-Schritte -- Kapitel 3. Heyagonale Substratstrukturierung -- Kapitel 4. Kompositionsgadient zum Spannungsabbau -- Kapitel 5. Untersuchungen der Aluminiumnitrid-Pufferschicht -- Kapitel 6. Trigonale Substatstrukturierung -- Kapitel 7. Silizium- und Sauerstoff-Verunreinigung in der HVPE -- Zusammenfassung und Ausblick
Additional Edition:
Print version: Fleischmann, Simon Materialaspekte der Hydridgasphasenepitaxie von Aluminiumgalliumnitrid Göttingen : Cuvillier Verlag,c2019 ISBN 9783736970298
Keywords:
Electronic books.
URL:
https://ebookcentral.proquest.com/lib/th-brandenburg/detail.action?docID=5811309
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