Online-Ressource
IOP Publishing
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2004
In:
Journal of Micromechanics and Microengineering Vol. 14, No. 2 ( 2004-02-01), p. 256-262
In:
Journal of Micromechanics and Microengineering, IOP Publishing, Vol. 14, No. 2 ( 2004-02-01), p. 256-262
Materialart:
Online-Ressource
ISSN:
0960-1317
,
1361-6439
DOI:
10.1088/0960-1317/14/2/013
Sprache:
Unbekannt
Verlag:
IOP Publishing
Publikationsdatum:
2004
ZDB Id:
1480280-6
ZDB Id:
1069644-1
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