Online-Ressource
IOP Publishing
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2017
In:
Journal of Micromechanics and Microengineering Vol. 27, No. 10 ( 2017-10-01), p. 105017-
In:
Journal of Micromechanics and Microengineering, IOP Publishing, Vol. 27, No. 10 ( 2017-10-01), p. 105017-
Materialart:
Online-Ressource
ISSN:
0960-1317
,
1361-6439
DOI:
10.1088/1361-6439/aa8a38
Sprache:
Unbekannt
Verlag:
IOP Publishing
Publikationsdatum:
2017
ZDB Id:
1480280-6
ZDB Id:
1069644-1
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