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Zhenyin Yang ; Lichtenwalner, D.J. ; Morris, A.S. ; [weitere]

Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) ; 2009

In: Journal of Microelectromechanical Systems Vol. 18, No. 2 ( 2009-04), p. 287-295

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Details

In: Journal of Microelectromechanical Systems, Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), Vol. 18, No. 2 ( 2009-04), p. 287-295

Materialart: Online-Ressource

ISSN: 1057-7157 , 1941-0158

URL: Article

DOI: 10.1109/JMEMS.2008.2010850

Sprache: Unbekannt

Verlag: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

Publikationsdatum: 2009

ZDB Id: 2027726-X

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