In:
tm - Technisches Messen, Walter de Gruyter GmbH, Vol. 76, No. 2 ( 2009-02), p. 43-53
Abstract:
Um den vielfältigen Anforderungen auf dem Gebiet der dimensionellen Mikro- und Nanometrologie gerecht zu werden, ist ein Koordinatenmessgerät (KMG) auf der Basis der Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NMM) aufgebaut worden. In den vergangenen Jahren sind zwei Typen von taktilen Mikro-/Nanotastern entwickelt und an dieses Gerät angekoppelt worden. Im vorliegenden Beitrag wird über die Entwicklung des Mikro-/Nano-KMG berichtet. Es werden Details zum Design der wichtigsten Komponenten (Positioniersystem, Antastsystem, Software), zu Methoden der Taster-Charakterisierung sowie zu Messergebnissen an einem typischen Prüfkörper präsentiert.
Type of Medium:
Online Resource
ISSN:
0171-8096
DOI:
10.1524/teme.2009.0921
Language:
English
Publisher:
Walter de Gruyter GmbH
Publication Date:
2009
detail.hit.zdb_id:
2025790-9
SSG:
15,3