In:
Uspekhi Fizicheskih Nauk, Uspekhi Fizicheskikh Nauk (UFN) Journal, Vol. 189, No. 03 ( 2019-03), p. 323-334
Type of Medium:
Online Resource
ISSN:
0042-1294
,
1996-6652
Uniform Title:
Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)
DOI:
10.3367/UFNr.2018.06.038447
Language:
Russian
,
Russian
Publisher:
Uspekhi Fizicheskikh Nauk (UFN) Journal
Publication Date:
2019
detail.hit.zdb_id:
2166729-9