In:
Chinese Journal of Lasers, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Vol. 46, No. 9 ( 2019), p. 0904006-
Materialart:
Online-Ressource
ISSN:
0258-7025
Originaltitel:
基于透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量
DOI:
10.3788/CJL/2019/46/9
DOI:
10.3788/CJL201946.0904006
Sprache:
Englisch
,
Chinesisch
Verlag:
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
Publikationsdatum:
2019