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Online-Ressource

Design and manufacture on multilayers of low-Z materials at 14 nm

WU Wen-juan, 吴文娟 ; ZHANG Zhong, 张众 ; ZHU Jing-tao, 朱京涛 ; [weitere]

Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences ; 2011

In: Optics and Precision Engineering Vol. 19, No. 6 ( 2011), p. 1192-1198

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Details

In: Optics and Precision Engineering, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Vol. 19, No. 6 ( 2011), p. 1192-1198

Materialart: Online-Ressource

ISSN: 1004-924X

Originaltitel: 14 nm低原子序数材料多层膜的设计和制备

URL: Issue

URL: Journal

URL: Article

DOI: 10.3788/OPE./2011/19/6

DOI: 10.3788/OPE.

DOI: 10.3788/OPE.20111906.1192

Sprache: Englisch , Chinesisch

Verlag: Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences

Publikationsdatum: 2011

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