In:
Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Korean Society of Precision Engineering, Vol. 38, No. 2 ( 2021-02-01), p. 123-129
Type of Medium:
Online Resource
ISSN:
1225-9071
,
2287-8769
Uniform Title:
초정밀 직선 스테이지의 6자유도 운동 오차 보정을 위한 미세 구동 스테이지 개발 및 성능 평가
DOI:
10.7736/JKSPE.020.083
Language:
English
Publisher:
Korean Society of Precision Engineering
Publication Date:
2021