Format:
XIV, 109 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
21 cm, 189 g
ISBN:
9783844006179
Series Statement:
Materials chemistry dissertation No. 14
Note:
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
Language:
English
Keywords:
Aluminiumoxide
;
PECVD-Verfahren
;
Mikrostruktur
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Mechanische Eigenschaft
;
Stabilität
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Hochschulschrift