Format:
Online-Ressource
Series Statement:
Materials Chemistry Dissertation 14 (2011)
Note:
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
Language:
English
Keywords:
Aluminiumoxide
;
PECVD-Verfahren
;
Mikrostruktur
;
Mechanische Eigenschaft
;
Stabilität
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Hochschulschrift
URN:
urn:nbn:de:hbz:82-opus-39319
URL:
https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:82-opus-39319
URL:
https://d-nb.info/1019852542/34