Format:
Online-Ressource
Edition:
1. Aufl.
ISBN:
9783844030396
Series Statement:
Berichte aus der Physik
Note:
Lizenzpflichtig
,
Zugl.: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Diss., 2014
Additional Edition:
Druckausg. Werner, Florian, 1983- Atomic layer deposition of aluminum oxide on crystalline silicon Aachen : Shaker, 2014
Language:
English
Keywords:
Aluminiumoxide
;
Dielektrische Schicht
;
Atomlagenabscheidung
;
Inversionsschicht
;
Siliciumhalbleiter
;
Hochschulschrift
URN:
urn:nbn:de:101:1-2014110911729
URL:
https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:101:1-2014110911729
URL:
https://d-nb.info/1060622408/34
