Format:
Online-Ressource
,
online resource.
ISSN:
1432-1858
,
1432-1858
In:
volume:24
In:
number:1
In:
day:18
In:
month:10
In:
year:2016
In:
pages:71-78
In:
date:1.2018
In:
Microsystem technologies, Berlin ; Heidelberg : Springer, 1994-, 24, Heft 1 (18.10.2016), 71-78, 1.2018, 1432-1858
Language:
English
DOI:
10.1007/s00542-016-3165-z
URN:
urn:nbn:de:1111-201803233000
URL:
https://doi.org/10.1007/s00542-016-3165-z
URL:
https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:1111-201803233000
URL:
https://d-nb.info/1155004604/34
URL:
http://dx.doi.org/10.1007/s00542-016-3165-z