ISBN:
9783844006179
Series Statement:
Materials chemistry dissertation 2011,14
Note:
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
Additional Edition:
Erscheint auch als Druckausg. Jiang, Kaiyun: Al 2 O 3 thin films: relation between structural evolution, mechanical properties and stability
Language:
English
Keywords:
Aluminiumoxide
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PECVD-Verfahren
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Mikrostruktur
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Mechanische Eigenschaft
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Stabilität
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Online-Ressource
URN:
urn:nbn:de:hbz:82-opus-39319
URL:
http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn=urn:nbn:de:hbz:82-opus-39319
URL:
http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2011/3931/