Format:
VI, 153 S
,
Ill., graph. Darst
,
21 cm
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183359057
Series Statement:
Fortschritt-Berichte / VDI 359
Note:
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1993
Language:
German
Keywords:
Sputtern
;
Titancarbid
;
Titannitrid
;
Mischkristall
;
Schutzschicht
;
Mechanische Eigenschaft
;
Hochschulschrift