Umfang:
Online-Ressource (24.64 MB)
Anmerkung:
Chemnitz, Techn. Univ., Diss, 2008
Weitere Ausg.:
9783941003071
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe Reuter, Danny, 1974 - Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2009 9783941003071
Sprache:
Deutsch
Fachgebiete:
Technik
Schlagwort(e):
Mikrosystemtechnik
;
Opferschicht
;
Plattentheorie
;
Hochschulschrift
URN:
urn:nbn:de:bsz:ch1-200800721