Format:
1 Online-Ressource (XI, 263 S., 160 Abb.).
Edition:
6., korr. und verb. Aufl.
ISBN:
978-3-8348-1335-0
,
978-3-8348-2085-3
Language:
German
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Silicium
;
Halbleitertechnologie
;
Siliciumhalbleiter
;
Lehrbuch
;
Lehrbuch
DOI:
10.1007/978-3-8348-2085-3
Author information:
Hilleringmann, Ulrich.