UID:
almahu_9949711155002882
Umfang:
1 electronic resource (IX, 125 p. p.)
ISBN:
1000016593
Serie:
Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
Inhalt:
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
Anmerkung:
German
Weitere Ausg.:
ISBN 3-86644-496-6
Sprache:
Deutsch
