Format:
X, 240 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:
3-540-53925-5
,
0-387-53925-5
Series Statement:
Springer series in materials science 19
Language:
English
Subjects:
Physics
Keywords:
Laser
;
Mikrosystemtechnik
;
Mikrosystemtechnik
;
Laserbearbeitung
;
Dünnschichttechnik
Author information:
Metev, Simeon M., 1947-