Format:
199 Seiten :
,
Illustrationen, Diagramme ;
,
26 cm.
ISBN:
978-3-446-47424-6
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe ISBN 9783446475731
Language:
English
Subjects:
Engineering
,
Economics
Keywords:
Lithografieoptik
;
Optische Industrie
;
Fotolithografie
Author information:
Paetrow, Stephan, 1978-,