Format:
IX, 210 S.
,
graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
318148010X
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 10] 180
Note:
Hamburg, Techn. Univ., Diss.
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Lichtwellenleiter
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Dünne Schicht
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Siliciumoxinitride
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PECVD-Verfahren
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Integrierte Optik
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Dünne Schicht
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Siliciumoxinitride
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PECVD-Verfahren
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Hochschulschrift
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Hochschulschrift