Format:
VIII, 156 S.
,
graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3181448095
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 148
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Siliciumbauelement
;
Oberfläche
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Siliciumbauelement
;
Oberfläche
;
Oberflächenveredelung
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Elektronische Eigenschaft