Format:
VI, 155 S.
,
graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3181457086
Series Statement:
Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik 357
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Plasmastrahlbearbeitung
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Beschichtung
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Plasma
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Dünne Schicht
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Mikroelektronik
;
Beschichten
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Hochschulschrift