ISSN:
1057-7157
Additional Edition:
Online-Ausg. Journal of microelectromechanical systems New York, NY : IEEE, 1992- ISSN 1941-0158
Language:
English
Keywords:
Mikromechanik
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Zeitschrift
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Elektromechanik
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Zeitschrift
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Mikromechanik
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Elektromechanisches Bauelement
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Zeitschrift
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Zeitschrift