Format:
VI, 139 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183214091
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 214
Note:
Dissertation Technische Universität Braunschweig
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Fotolithografie
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Photoresist
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Mehrstufenprozess
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Hochschulschrift
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Hochschulschrift