Format:
338 S.
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Ill., graph. Darst.
ISBN:
380072247X
Series Statement:
GMM-Fachbericht 17
Note:
Beitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben
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Beitr. teilw. dt., teilw. engl.
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Mikroelektronik
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Konferenzschrift
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Kongress
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Konferenzschrift