Format:
VII, 111 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
318350703X
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 3] 507
Note:
Zugl.: Braunschweig, Univ., Diss.
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Kohlenwasserstoffe
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PECVD-Verfahren
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Hohlkathodenentladung
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Dünne Schicht
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Amorpher Zustand
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Tribologie
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Hochschulschrift
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Hochschulschrift