Format:
VI, 127 S.
,
graph. Darst.
ISBN:
3183336022
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2] 336
Note:
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1994
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Niederdruckplasma
;
Vakuumlichtbogen
;
Plasmadiagnostik
;
Beschichten
;
Hochschulschrift