Format:
III, 137 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
21 cm
Note:
Aachen, Techn. Hochsch., Habil.-Schr., 2002
Language:
German
Keywords:
Verschleißschutz
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Schutzschicht
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Funktioneller Gradientenwerkstoff
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Kombinatorische Synthese
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Magnetronsputtern
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Verschleißschutz
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Schutzschicht
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Funktioneller Gradientenwerkstoff
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Kombinatorische Synthese
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PECVD-Verfahren
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Hochschulschrift