Format:
VI, 134 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3826533895
Series Statement:
Berichte aus der Steuerungs- und Regelungstechnik
Note:
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1997
Language:
Undetermined
Keywords:
Ionensensitiver Feldeffekttransistor
;
Kohlenstoffwerkstoff
;
Diamantstruktur
;
Dünne Schicht
;
PECVD-Verfahren
;
Hochschulschrift