Format:
XXIX, 479 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
1 CD-ROM (12 cm)
,
28 cm
ISBN:
9783446413405
,
3446413405
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Optische Fläche
;
Mikrobearbeitung
;
Ultrapräzisionsbearbeitung
;
Luftlager
;
Oberflächenprüfung
;
Interferometrie
Author information:
Langenbeck, Peter