Format:
VIII, 164 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
21 cm
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
978-3-18-338609-2
Series Statement:
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik/Mikro- und Nanotechnik 386
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Siliciumbauelement
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Chip
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Selbstorganisation
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Montage
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Kontaktieren
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Nanolithografie