Format:
824 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
9783932434778
Language:
English
Subjects:
Engineering
Keywords:
Mikrosystemtechnik
;
Integration
;
Mikroelektronik
;
Verbindungstechnik
;
System-on-Chip
;
System-in-Package
;
MEMS
;
Aufsatzsammlung
;
Festschrift
Author information:
Reichl, Herbert 1945-
Author information:
Michel, Bernd 1949-