Format:
1 Online-Ressource
Edition:
Online-Ausgabe Springer ebook collection / Chemistry and Materials Science 2005-2008 Sonstige Standardnummer des Gesamttitels: 041171-1
ISBN:
9783540264620
Series Statement:
Springer Series in Advanced Microelectronics 16
Additional Edition:
Reproduktion von High Dielectric Constant Materials 2005
Additional Edition:
Erscheint auch als Druckausgabe ISBN 978-3-540-21081-8
Language:
English
Subjects:
Physics
Keywords:
VLSI
;
MOS-FET
;
Gate
;
Siliciumdioxid
;
Dielektrische Schicht
;
VLSI
;
MOS-FET
;
Gate
;
Siliciumoxinitride
;
Dielektrische Schicht
;
Aufsatzsammlung
Author information:
Huff, Howard R.