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Online-Ressource

Multilayer integrated film bulk acoustic resonators (2013)

Zhang, Yafei [Verfasser] ; Chen, Da [Sonstige]

Berlin [u.a.] : Springer

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Details

UID:

b3kat_BV040900565

Umfang: 1 Online-Ressource (X, 152 p. 97 illus)

ISBN: 9783642317767

Anmerkung: Introduction -- Propagation of Acoustic Wave in Crystals -- The Theory of FBAR -- The Sputtering Deposition and Etching of AlN Film -- The Membrane Structured FBAR -- Solidly Mounted Acoustic Resonator -- The Application of FBAR in RF Filters -- The FBAR Excited by Lateral Filed -- High Sensitive Sensors Based on FBAR.

Weitere Ausg.: Erscheint auch als Druckausgabe ISBN 978-3-642-31775-0

Sprache: Englisch

DOI: 10.1007/978-3-642-31776-7

URL: Volltext

URL: Inhaltsverzeichnis

URL: Abstract