Format:
1 Online-Ressource (XVII, 348 S.)
ISBN:
9781118536605
,
1118536606
,
9781118536629
,
1118536622
,
9781118536612
,
1118536614
,
9781118536636
,
1118536630
,
9781299788381
Series Statement:
Wiley microsystem and nanotechnology series
Note:
Includes bibliographical references and index
Additional Edition:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe, Hardcover ISBN 978-0-470-97287-8
Language:
English
Keywords:
Mikrofertigung
;
Schneiden