Format:
123 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
9783957350213
Series Statement:
Forschung für die Praxis 2
Note:
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2014
Language:
Undetermined
Subjects:
Engineering
Keywords:
Low-k-Dielektrikum
;
Silylierung
;
Diffusion
;
Ab-initio-Rechnung
;
Hochschulschrift