Format:
1 Online-Ressource (IX, 400 S.)
ISBN:
9783322915726
,
9783528038915
Series Statement:
Studium Technik
Note:
Die Mikrosystemtechnik hat in den zurückliegenden Jahren eine beeindruckende rasante Entwicklung genommen. Dies gilt sowohl hinsichtlich der Entwurfswerkzeuge und Technologien, die für die Realisierung von Mikrosystemen entwickelt wurden, als auch bezüglich neuer Anwendungsfelder für Mikrosysteme. Neben den etablierten Technologien der Halbleiter Mikroelektronik nutzt man inzwischen zahlreiche neue technologische Verfahren. Ein Vielzahl von physikalischen Effekten und Materialien kommt in mikrosystemtechnischen Funktionselementen und Komponenten zur Anwendung, so dass neben mikroelektronischen nun auch eine Fülle von mikrofluidischen, mikrooptischen, mikromechanischen Bauelementen, Sensoren und Aktoren zur Verfügung steht. Darauf aufbauend wird mehr als bisher in Zukunft der Systemaspekt im Vordergrund der Entwicklung stehen. Für die Durchsetzung von Mikrosystemen als marktreife Produkte gewinnen Fragen der Zuverlässigkeit und Qualitätssicherung immer größere Bedeutung. Dieses Buch soll Studierenden und Fachleuten aus Forschung und Entwicklung einen Einstieg in die faszinierende Welt der Mikrosystemtechnik geben. Dabei haben wir (in Kap. 2) zunächst großen Wert auf eine möglichst gründliche Darstellung der technologischen Basis, d.h. der zur Verfügung stehenden Materialien und Verfahren (unter Angabe wichtiger Parameter), gelegt
Language:
German
Keywords:
Mikrosystemtechnik
DOI:
10.1007/978-3-322-91572-6
URL:
Volltext
(lizenzpflichtig)
Author information:
Zetterer, Thomas
Author information:
Mildenberger, Otto 1937-
Author information:
Völklein, Friedemann
