Format:
xiv, 162 Seiten
,
Diagramme, Illustrationen
ISBN:
9783844066081
Series Statement:
Berichte aus der Halbleitertechnik
Note:
Dissertation Technische Universität Chemnitz 2018
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Mikrofon
;
MEMS
;
Elastizität
;
Bruchfestigkeit
;
Silicium
;
Polykristall
;
Hochschulschrift
Author information:
Brückner, John 1985-